1 产品简介 HVPA系列绝压式电容薄膜真空计（简称“薄膜规”）产品，具有精度高、响应快、稳定可靠、耐腐蚀、抗过载和抗冲击能力强、检测不受被测介质种类和成分的影响等特点，可广泛用于真空镀膜、核能、半导体等行业的中、低真空测量。本系列薄膜规输入电压±15V，兼有多种标准信号输出，可以实现远传功能，便于自动控制系统应用。   2 主要技术参数 图1 电容薄膜真空计外形图   测量范围： HVPA11型：1Pa~1kPa HVPA12型：10Pa~10kPa HVPA13型：100Pa~100kPa   3 工作原理 薄膜规是利用弹性膜片在压差作用下产生位移，导致电容量发生改变，通过测量电容的变化，达到测量压力的目的。薄膜规主要由检测部分和转换电路两部分组成，检测部分被弹性膜片（即可动电极）隔开形成参考腔和检测腔两个腔体，参考腔为全密封结构并长期保持高真空。弹性膜片与位于参考腔室中的固定电极形成一个平板电容器，被测真空压力值的变化可使弹性膜片发生极微小的位移，从而改变了与固定电极的距离，使得平板电容器的电容值也随之改变。检测电路部分则是将微小的电容变化量信号转化为标准电流或电压信号输出。   4 安装和接线 4.1 安装 薄膜规安装时采用国家标准GB4982规定的KF16型真空快速连接接头。其特点是快速、方便、可靠，安装时间仅需1~2分钟。 4.2 接线 薄膜规的电源：应为±15V。